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半導體制造行業專用恒溫恒濕精密空調

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半導體制造行業專用恒溫恒濕精密空調

  • 發布時間:2024-08-01

【概要描述】ORION好利旺系列精密空調憑借其獨特的熱泵平衡控制技術和超級冷媒再加熱技術,成爲半導體制造業及其他高精度生産領域的理想選擇。

半導體制造行業專用恒溫恒濕精密空調

【概要描述】ORION好利旺系列精密空調憑借其獨特的熱泵平衡控制技術和超級冷媒再加熱技術,成爲半導體制造業及其他高精度生産領域的理想選擇。

  • 分類:産品信息
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  • 發布時間:2024-08-01 15:08
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用于半導體制造精密溫度制!!

專爲高精尖科技市場提供溫度控制解決方案。

熱泵平衡控制 節能精密空調

空氣處理量:0.7~40m³/min,适用于不同規模的生産環境。

溫度控制精度:士0.1℃

溫度設定範圍:18~30℃,可根據具體需求靈活調整。

濕度控制範圍:±1.0 %

濕度設定範圍:45~75%,确保環境濕度符合精密設備的要求。

好利旺通過獨家熱泵平衡控制,實現了高達80%的空調節能效果。

首先我們先要了解熱泵平衡控制的作用。

熱泵平衡控制就像一台空調同時運行制冷和制熱,通過對冷媒的精準控制來進行溫度調控。這是一種全新的控制方法,它不是像傳統空調行業那樣從室内到室外或從室外到室内的單向熱傳遞,而是一種通過先進的制冷控制實現節能和穩定運行的最新技術。※熱泵平衡。已是本公司的注冊專利。

通過獨家專利熱泵平衡控制技術可實現完全不依賴加熱器的情況下,通過制冷劑回路自身産生的熱能回收控制,實現精準溫度控制。并且還實現了通過利用回路自身産生的低溫爲換熱排氣降溫。使得發熱量大大減少。

在半導體、FPD制造工藝等各種生産領域所需的精密空調一般由加熱器 PID控制對出風溫度進行溫控,此控制方式的最大缺點是功耗非常巨大。

傳統空調的溫度控制方式 :電加熱器PID控制

在不斷進行連續冷卻運轉的同時,使空氣通過等于或大于冷卻能力的電加熱器來進行加熱。因此,與熱泵平衡控制相比,電加熱器運行時浪費了約70%的熱量。

随着精密機床以及行業對精度的不斷提高,市場逐漸需要大幅度節能并高精度控制的精密空調以及對環境幾乎無影響的集成空調,因此我們加大了在完全無加熱器以及無排熱的精密空調設備上的開發。

最終我們成功研發出無加熱器PID控制的高精度節能空調,并實現了制冷劑加熱無法實現的寬範圍設定,作爲一項新技術,成功滿足了高端客戶的需求。

ORION好利旺的超級冷媒再加熱技術

回收冷凝器産生的熱量給出風空氣加熱。

這是一種通過制冷劑回路對空氣進行再加熱的空氣溫控方法。即便100%的制冷劑氣體循環到再熱器,到蒸發器的循環量不會發生變化,并且冷卻能力是相同的,因此除濕能力突出。同時,通過獨立的分流閥控制制冷劑量,相對于傳統回路加熱方式可以實現無加熱器高精度升溫降溫控制。

應用實例:

  • 曝光機&光刻機
  • 恒溫(恒濕)室/潔淨室
  • 錫膏印刷機(絲網印刷機&基闆印刷)
  • 塗膠顯影機

ORION好利旺系列精密空調憑借其獨特的熱泵平衡控制技術和超級冷媒再加熱技術,成爲半導體制造業及其他高精度生産領域的理想選擇。通過先進技術的應用,不僅降低了運營成本,還提高了生産的可持續性和環保性能,如果您有相關需求,歡迎垂電咨詢。

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