曝光機的溫控管理專家
- 發布時間：2023-11-28
【概要描述】曝光機的工藝過程離不開高精度溫濕度控制和潔淨度。通過恒溫恒濕設備、精密空調和潔淨棚等手段，可以确保曝光過程的準确性、穩定性和可靠性。對于保證曝光設備的正常運行和提高生産效率起重要作用。
曝光機的溫控管理專家
【概要描述】曝光機的工藝過程離不開高精度溫濕度控制和潔淨度。通過恒溫恒濕設備、精密空調和潔淨棚等手段，可以确保曝光過程的準确性、穩定性和可靠性。對于保證曝光設備的正常運行和提高生産效率起重要作用。
- 分類：簡報訂閱
- 作者：好利旺小編
- 來源：
- 發布時間：2023-11-28 15:47
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曝光精度的提高對工件和設備工作環境的溫濕度穩定性要求越來越高
多年來，随着集成電路産業的迅速發展，工業技術的變革促進曝光機行業中光源的發展曆程：從鹵素光源→LED光源→激光直寫→光刻。
在應用上表現爲曝光精度的不斷提高，從微米級→亞微米級→納米級。
曝光精度的提高對工件和設備工作環境的溫濕度穩定性要求越來越高。
物體由于溫度改變而有脹縮現象并造成形變,即熱膨脹系數。從下圖中可以獲知：溫度對不同材料的形變都有一定的影響。
如果運用在納米級别的工藝流程中，溫濕度的變化對工件的形變會有更顯著的影響。
目前，激光直寫工藝要求環境溫濕度控制精度高；而光刻工藝更加嚴苛。
ORION好利旺機械的産品能夠滿足曝光機行業對環控設備的高要求。
配置了先進的溫濕度控制系統，能夠在穩定的工況環境下保證曝光精度的穩定性。
我們的産品具備以下優勢：
1.溫濕度控制精度高：可以精确控制溫度（±0.1℃）和濕度（±1%），确保在曝光設備工作時環境的穩定性。
2.高效淨化功能：可以配合溫濕雙控制潔淨棚，通過HEPA高效過濾網組合，有效去除空氣中的微塵和細菌，保證曝光設備的潔淨度要求。
（産品在客戶現場的實際使用情況）
3.高效節能性：ORION好利旺超高精密空調采用先進的熱泵平衡®節能技術和直流變頻控制技術，能夠在滿足高精密溫濕度控制的同時，降低能源消耗，提高能源利用效率，可達節能80%。
4.穩定可靠性：ORION好利旺超高精密空調具有穩定的工作性能，能夠全年穩定運行，有效解決變頻溫控難以控制的春夏過度期間的溫度偏差，爲曝光機行業提供優質服務。
5.智能化管理：ORION好利旺超高精密空調配備了智能化的控制系統，能夠實時顯示設定溫度和測量溫度，并能夠靈活設定運轉時間和停止時間，提高設備運行的穩定性和效率。
>>>ORION好利旺機械的行業實際應用經驗豐富
ORION好利旺的産品已經得到了許多終端應用廠商的認可和采用。
他們在曝光機行業中廣泛應用ORION好利旺機械的産品，取得了良好的效果。
ORION好利旺機械與這些客戶建立了長期合作關系，并不斷優化和改進我們的産品，适應日益提高的市場需求。
如果您對ORION好利旺機械的産品有需求，請随時聯系我們。我們将竭誠爲您提供優質的服務。歡迎垂詢！
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